Vakum ölçüm teknolojisi, hem savunma hem de sivil sektörlerde artan taleplerle birlikte vakum bilimi ve teknolojisinin kritik bir bileşenidir. Vakum basıncını doğru bir şekilde ölçmek özellikle önemlidir. Vakum göstergeleri endüstriyel üretimde, yarı iletken ekipmanlarda, nükleer endüstride ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Dünyaca ünlü vakum ölçer üreticileri arasında MKS Instruments ve INFICON bulunmaktadır. Çalışma prensiplerine göre yaygın olarak kullanılan iki tür vakum ölçer vardır: biri MKS'nin teknik yaklaşımıyla temsil edilen metal kapasitans vakum ölçer, diğeri ise INFICON'un teknik yaklaşımıyla temsil edilen seramik kapasitans vakum ölçerdir. Genel olarak metal kapasitans vakum göstergeleri, seramik kapasitans modellerine göre daha iyi performans sunar ve bu da onların daha yaygın olarak benimsenmesini sağlar.
Metal kapasitans vakum ölçerin algılama elemanı, yaklaşık 40 μm kalınlığında bir metal diyafram ve bir seramik elektrottan oluşan kapasitif bir yapıdan oluşur. Yukarıdaki şekillerde gösterildiği gibi, metal diyafram kaynak yapılmadan önce büyük bir çekme kuvveti ile gerilerek, nominal aralığın yüzlerce katına kadar aşırı yük basınçlarına dayanabilen bir yapı oluşturulur. Diyaframa vakum basıncı uygulandığında diyafram deforme olur ve metal diyafram elektrotu ile seramik elektrot arasındaki kapasitans değişir. Bu kapasitans değişimini ölçerek ve standart vakum basıncı referanslarına göre kalibre ederek mutlak vakum değeri belirlenebilir. Ölçüm doğruluğunu artırmak için boşluğun içine bir alıcı yerleştirilir.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. bağımsız olarak VG750 vakum ölçüm cihazını geliştirerek MKS ve INFICON ürünleriyle karşılaştırılabilir performans elde etti. 1 Torr'dan 1000 Torr'a kadar bir ölçüm aralığını kapsar ve yarı iletken ve nükleer endüstrilerdeki toplu uygulamalarda yaygın olarak benimsenmiştir. Performans özellikleri aşağıdaki tabloda listelenmiştir. İlgilenenlerin deneme amaçlı kullanım için bizimle iletişime geçmesini rica ederiz.
Daha fazla bilgi için lütfen web sitemizi ziyaret edin:mihuitec.com veya ürün sayfasına göz atın: Çin VG750 Metal Kapasitif Diyafram Göstergesi Üreticileri Tedarikçiler Fabrika - Teklif - Mihui Tech.
